ICP-MS可以分析元素周期表中所有金属元素,检出限在1ppt以下。同时可以分析绝大部分非金属元素,例如As、Se、P、S、Si、Te等,检出限低于1ppb。与AAS、AFS、ICP-OES等其他原子光谱检测技术相比,在分析能力上,ICP-MS是痕量元素分析的技术,该项技术已从最初在地质科学上的研究应用迅速地发展到用于冶金、石油、环境、生物、医学、半导体、核材料分析领域。具有谱线少、干扰少、分析精度高、分析速度快、可以提供同位素信息等分析特性。